真空泵長期在酸、堿、有機溶劑等惡劣環境中運行，其氟塑料內襯、隔膜或葉輪等關鍵部件雖具備優異抗性，但仍需科學的定期維護保養，以抵御化學侵蝕、機械磨損與污物堵塞，確保其持久動力與運行效率。
一、日常巡檢，防微杜漸（每日/每班）
運行中觀察真空表讀數是否穩定，判斷
真空泵密封性與抽氣能力。聽泵體有無異常噪音（如摩擦、撞擊聲），檢查有無振動加劇。確認工作液（水環泵）流量、溫度正常，無泄漏。記錄運行時間與狀態，及時發現早期異常。
二、過濾系統清潔（每周）
拆卸并清洗進氣口前的過濾器或緩沖瓶，清除積聚的粉塵、結晶或液滴。檢查濾芯是否堵塞或破損，必要時更換。對于抽吸高濕氣體的工況，定期清理冷凝水收集裝置，防止倒吸。
三、工作液管理與更換（每1-3個月）
對于水環式耐腐蝕泵，定期檢測工作液的pH值、電導率與渾濁度。若發現污染、結晶或腐蝕性增強，應立即排空并沖洗泵腔。更換為新鮮的去離子水或專用防腐工作液。嚴禁使用含氯離子的自來水，防止不銹鋼部件腐蝕。
四、易損件檢查與更換（每3-6個月）
隔膜泵：檢查PTFE或EPDM膜片有無裂紋、鼓包或老化，密封圈是否變形。通常每運行2000-5000小時需更換。
水環泵：檢查葉輪、分配板有無腐蝕、汽蝕或磨損，氟塑料內襯是否完好。
機械泵（如耐腐蝕旋片泵）：檢查旋片、軸承潤滑情況，更換專用耐腐蝕真空泵油。
五、管路與接頭檢查（每季度）
檢查所有進、排氣管路（尤其是PTFE軟管）有無老化、龜裂、壓扁或松動。確認法蘭、卡箍連接處密封良好，無泄漏。更換已劣化的管路，防止腐蝕性氣體外泄或空氣滲入影響真空度。
六、清洗與性能驗證（每年或大修）
將真空泵從系統拆下，排空殘留液體。用清水或相容溶劑（如酒精）沖洗泵腔、管道與閥門，去除內部積垢與結晶。檢查所有密封件（O型圈、墊片）并更換。重新組裝后進行空載試運行，測試極限真空度與抽氣速率，驗證性能是否恢復。
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